中瑞祥电阻电离复合真空计操作使用

通过‌电阻规（低真空）‌与‌电离规（高真空）‌组合，实现从大气压到高真空的连续测量。其核心原理基于气体热传导特性与气体分子电离效应。‌‌

一、工作原理

‌1. 电阻真空计部分（低真空测量）‌

‌物理基础‌：利用低压下气体的‌热传导系数与压强成正比‌的特性。

‌工作机制‌：规管内金属热丝通以恒定电流保持温度恒定（定温式）。当气体压强降低时，气体分子带走的热量减少，为维持热丝温度恒定，供电电路需自动降低加热功率（或表现为热丝端电压/电流变化）。

‌信号转换‌：通过测量补偿热丝温度所需的‌电压或电流变化‌，经微处理器非线性修正后，换算出对应的气体压强。测量范围通常为 1.0 \times 10^5 \sim 1.0 \times 10^1.0×10

5

 ∼1.0×10

−1

  Pa。‌‌

‌2. 热阴极电离真空计部分（高真空测量）‌

‌物理基础‌：利用电子轰击气体分子产生离子的‌电离效应‌。

‌工作机制‌：

‌电子发射‌：灯丝（阴极）通电加热发射电子。

‌加速与碰撞‌：电子在正电压栅极（加速极）作用下加速，与气体分子碰撞使其电离，产生正离子。

‌离子收集‌：负电压收集极吸引正离子，形成‌离子流 (I_+I

+

 )‌。

‌定量关系‌：在发射电流 (I_eI

e

 ) 和规管灵敏度 (KK) 恒定时，离子流与气体压强 (PP) 成正比，即 I_+ = K \cdot I_e \cdot PI

+

 =K⋅I

e

 ⋅P。通过测量微弱的离子流即可确定压强。测量范围通常为 1.0 \times 10^ \sim 1.0 \times 10^1.0×10

−1

 ∼1.0×10

−5

  Pa。‌‌

二、操作使用逻辑

现代智能复合真空计通常采用‌微处理器控制‌，具备自动切换功能：

‌自动模式（推荐）‌：

开机后，‌电阻单元‌首先工作，测量从大气压到低真空段。

当电阻计测得压强低于设定阈值（如 1.0 \sim 101.0∼10 Pa，具体视型号而定）时，仪器‌自动点亮电离规灯丝‌，切换至电离单元进行高真空测量。

若系统压强回升超过安全阈值（如 >10>10 Pa），仪器‌自动关闭电离灯丝‌，防止灯丝在低真空下氧化烧毁。‌‌

‌手动模式‌：

用户可独立控制电阻计和电离计的开关。

‌严禁‌在压强高于安全值（通常 >10>10 Pa）时手动开启电离计，否则会导致灯丝瞬间烧毁。‌‌

‌校准与维护‌：

‌零点/满度校准‌：电阻规需定期在大气压（满度）和高真空状态（零点）下进行校准，以消除漂移。

‌除气操作‌：电离规在使用前或读数不稳定时，可进行“除气"（加热灯丝去除吸附气体），但需在压强低于 1.0 \times 10^1.0×10

−2

  Pa 时进行，且时间不宜过长。‌‌

三、关键注意事项

‌保护机制‌：绝对避免在大气压下开启电离规灯丝。

‌气体成分影响‌：电阻规对不同气体的热导率敏感度不同，非空气/氮气环境需修正；电离规易受腐蚀性气体或油蒸气污染导致“中毒"。

‌安装位置‌：电阻规与电离规应尽量安装在同一真空室且无阀门阻隔的位置，以确保测量数据的一致性。‌‌

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