匀胶机是在速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。

主要用于晶片涂光刻胶，有自动、手动和半自动三种作方式。

送片盒中的晶片，自动送到承片台上，用真空吸附，在主轴电机的带动下旋转，转速100-9900转/分(±10转/分)，起动加速度可调。每道程序的持续时间，转速、加速度、烘烤温度、烘烤时间、预烘时间等艺参数均可通过编程控制。

匀胶机有个或多个滴胶系统，可涂不同品种的光刻胶。滴胶的方式有晶片静止或旋转滴胶。随着晶片尺寸的增大，出现了滴胶或胶口移动式滴胶。胶膜厚度般在500-1000nm，同晶片和片与片间的误差小于±5nm。滴胶泵有波纹管式和薄膜式两种，并有流量计行恒量控制。对涂过胶的晶片有上下刮边能，去掉晶片正反面多余的光刻胶。

烘烤位，有隧道式远红外加热，微波快速加热以及电阻加热的热板炉等。涂胶后的晶片要按定的升温速率行烘干。烘烤过程在密封的炉子中行，通过抽真空排除挥发出来的有害物质。前烘结束后，将晶片送入收片盒内。

选购巧

从其原理来说，可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节

旋转速度

转速的快慢和控制度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。

真空吸附系统的构

真空泵定要无油的

材质的选择

对于半导体化行业的应用来说，材质的选择尤为关键，大分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质，因为这种材质的成本很低，不锈钢的对于各类化胶液的抗腐蚀性不太好，塑料对于较温度和压力下产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话，将会导致旋涂时，时时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。