中瑞祥解析匀胶机选购巧

匀胶机有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是样的，即在速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

　　选购巧

　　针对目前匀胶机市场品众多，良莠不齐现象，笔者结合自己多年从事匀胶机术服务的实际经验。帮助广大用户提辨别能力，为用户提供了直观明确的选择标准。

　　从其原理来说，我们可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节

　　1、 旋转速度:转速的快慢和控制度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大，对于要求密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。产的某些匀胶机只能提供转速范围，并不能标定实时的转速。口的匀胶机虽然大分能标定转速，但是大分转速度没有际标准认定。建议购买转速控制方面有际认定标准的，比如:美NIST标准等。

　　2、 真空吸附系统的构

　　真空泵定要无油的，压力标定准确，内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产生"飞片"的情况，，他们有通过联动机制，如果真空吸附力不够的时候，不会开始旋转。

　　3、 材质的选择

　　对于半导体化行业的应用来说，材质的选择尤为关键，大分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质，因为这种材质的成本很低，不锈钢的对于各类化胶液的抗腐蚀性不太好，塑料对于较温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话，将会导致旋涂时，时时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如美等型号都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(氟隆,PTFE)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。

　　KW型匀胶机适用于半导体艺，制版及表面涂覆等艺。 匀胶机稳定的转速和快速的启动，可以保证胶厚度的致性和均匀性，为此，该机采取了如下措施： () 定子和转子分开供电。定子用稳压电源供励磁电流，转子用开关电源调速，它比用可控硅调速优越得多，转速在1000-8000转/分范围内非常稳定。 (二) 匀胶机有两个转速。在启动之后，以低速运转，使胶摊开，然后自动变到速运转。两转速及相应的时间分别可调。 (三) 本匀胶机测速采用光电的方法，在光电测速盘的边上有三个缺口，光电盘下面装有光电开关。当光电盘缺口转到光电开关上方时，光电开关的接收器没有信号，当光电盘的反射板(缺口以外的其余分)转到光电开关上面时，光电接收器便接收到信号产生个脉冲，光电盘旋转周，光电接受器便接收到三次信号，因而产生三个脉冲。闸门由秒脉冲电路产生，周期为2秒。当马达旋转时，如果计时器在2秒内计得的数是n，则每秒钟应该转了n/(2×3)=n/6转，每分钟旋转(n/6)×60=10n转。故计数器就是每分钟转速，只不过差个数量。 匀胶机的定时能由时基电路556来成，把556按单稳形式连接，改变RC常数，就可以改变两个匀胶时间。在安装结构上，采取了减震措施，在运转时噪音很低。