中瑞祥旋转涂胶烤胶一体机, 旋涂仪的标准操作流程

可分为准备、开机设定、旋涂执行、收尾维护四个核心阶段，全程需注意设备适配与操作规范，保障薄膜涂覆的均匀性。

开机前准备

‌清洁设备与基材‌：用丙酮配合无尘纸清理旋转台、吸盘上的残留胶液，确保无杂质影响涂层质量。

‌选配合适吸盘‌：根据样片尺寸选择对应规格吸盘，样片需比吸盘有效尺寸大2-3毫米；厚度低于1.5毫米的样片选带吸气槽的吸盘，厚度高于1.5毫米的选O型圈吸盘。

‌预处理溶液‌：对胶液进行亚微米级过滤，避免薄膜出现彗星状、星状缺陷或气泡。

‌放置基材‌：将样片精准放在吸盘正中央，偏心会引发振动，轻则降低涂层均匀性，重则导致样片碎裂、设备损坏。

开机与参数设定

抬起控制键和吸片键后打开设备电源，避免未启动电机就触发转动。

按实验需求设置两段旋涂参数：

第一步：时间2~18秒，转速500~2500转/分钟，用于初步铺展溶液

第二步：时间3~60秒，转速1000~8000转/分钟，用于控制最终薄膜厚度

打开真空泵，按下真空键确认样片被牢固吸附，气路无漏气情况。

旋涂执行

‌滴胶操作‌：优先选择静态滴胶，用移液器将溶液滴在基材中心，滴加量需覆盖基材直径的50%；若基材或胶液为疏水性，可采用动态滴胶，在500转/分钟的旋转状态下滴加溶液。

‌启动旋涂‌：盖好设备防护盖，按下启动键，设备将按预设的两段参数自动完成加速、匀速旋涂过程。

‌边缘修整‌：旋涂结束后，在低速旋转状态下用溶剂冲洗基材边缘，去除边缘堆积的残留胶液，避免形成厚度不均的边珠。

关机与日常维护

先关闭真空键，再关闭真空泵，取下制备完成的样片。

用丙酮再次清理设备内腔、旋转台的残留胶液，清空废液接收罐。

关闭设备电源，用干净原片盖住吸盘，套上防尘罩避免设备被污染。

真空泵连续运行时长不要超过1小时，设备闲置时及时关闭真空泵，延长设备使用寿命。

关键安全与操作禁忌

严禁放置超出设备限定尺寸、重量的样片，避免损坏旋控精度。

严防胶液、清洗液流入真空吸附管路，一旦胶液被吸入抽气室需立即清洗，否则会导致电机卡死无法运转。

氮气/干燥气体压力不要调得过大，从0.35MPa起缓慢上调，直到设备面板上的CDA指示灯停止闪烁即可